高动态性能，无摩擦无振动平滑移动，光栅尺分辨率 1nm，低热膨胀系数等产品特点。双驱横梁均采用空气导轨的 H 桥式结构，XY 一体式，低阿贝臂等结构特点。适用于不同尺寸和工艺的晶圆检测应用。