采用 XYR 叠加结构，无铁芯直线电机直驱控制，无齿槽效应，在低速下可平滑运行（速度波动小），DD 端面跳动小于 2um，组装后平台整体平面跳动小于 10um，全行程重复性小于 ±1 um，定位精度小于 ±2um等结构特点。主要应用于汽车电子、显示检测（数码管、液晶屏、 LED 显示屏）、医药、食品、精密零件加工、使产品运行到相应位置后，进行测量、计数、检测、智能判定的目的。