采用 XYZ 叠加结构，无铁芯直线电机直驱控制，无齿槽效应，在低速下可平滑运行（速度波动小），同时配备非接触式高精度光栅尺，具备****的动态性能、定位精度和重复定位精度运动平稳，受力稳定，XY 轴叠层结构，采用大理石底座，高稳态，Z 轴直驱平升结构，直接移动负载升降，内置平衡气缸，行程 10mm等结构特点。一款高精度三轴高精密运动台，三轴叠层结构，可用于激光加工、光学制造及检测、等要求高精度和高效率的工业项目中。