多轴气浮平台，采用气浮 XY 叠加结构，横梁侧挂 K 轴和 Z 轴（机械导轨），无铁芯直线电机直驱控制，无齿槽效应，在低速下可平滑运行（速度波动小），同时配备非接 触式高精度光栅尺，具备****的动态性能、定位精度和重复定位精度，多轴气浮平台选用高精度光栅位置反馈，全行程重复性小于 0.5um，定位精度小于 1um等结构特点。主要应用在半导体生产线、微电子生产、LCD 显示、 LCD 显示、线路板生产、PCB 产品等要求高精度和高效率工业项目中。