叠层式布局，紧凑型中空结构，采用高精密直线导轨，高动态性能，高精密，Y 轴采用双驱直线电机驱动，行程、尺寸、线缆可接受定制等产品特点。采用叠层紧凑的中空外形结构，工作点位置降低，光栅反馈位置接近工作表面，在晶圆检测中*关重要，Y 轴采用双驱直线电机驱动，可提供大推力、速度 1m/s 和准确的定位等结构特点。该平台是带有中空结构的精密运动台，大尺寸通孔、高动态性能满足晶圆贴片与检测应用，也适用于 CCD 成像、LED 封装检测的其它**制造行业。