纳米级定位精度的垂直运动 Z 向平台，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备****的动态性能和定位精度，分辨率 1nm，重复定位精度 ±100nm，定位精度 ±200nm等产品特点。高精度直驱升降台，高动态性能（空载截止频率大于 120Hz），低侧向高度，适合空间紧凑应用场景，可内置气动平衡，*大负载 15kg，可与 Surface-Theta 或直线轴组成多轴系统，在位稳定性 5nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）等结构特点。适用于半导体领域内的光刻、检测和封装、外形轮廓测量、生物医疗领域的基因测序等行业。